PFA(全氟烷氧基樹脂)霧化器是一種以耐化學(xué)腐蝕、耐高溫和低吸附性為核心特性的高性能霧化設(shè)備，廣泛應(yīng)用于電感耦合等離子體質(zhì)譜(ICP-MS)、電感耦合等離子體發(fā)射光譜(ICP-OES)等痕量分析領(lǐng)域，尤其適合強(qiáng)酸、強(qiáng)堿及有機(jī)溶劑的霧化需求。
 

　　一、核心特性
 

　　耐化學(xué)腐蝕性
 

　　PFA材質(zhì)對鹽酸、硝酸、氫氟酸(HF)等強(qiáng)酸及強(qiáng)堿、有機(jī)溶劑具有優(yōu)異耐受性，可長期穩(wěn)定輸送高純度化學(xué)品，避免腐蝕導(dǎo)致的性能衰減或數(shù)據(jù)失真。例如，美國Savillex PFA霧化器明確標(biāo)注可用于HF霧化，且提供多種型號(hào)適配Agilent、CETAC、ESI等品牌ICP-MS及自動(dòng)進(jìn)樣系統(tǒng)。
 

　　耐高溫性
 

　　工作溫度范圍覆蓋-80°C至+260°C，支持CVD/PVD等高溫工藝，同時(shí)滿足低溫環(huán)境(如-40°C至+55°C)下的穩(wěn)定運(yùn)行需求。
 

　　低吸附性與高精度
 

　　PFA材質(zhì)表面光滑，減少樣品殘留，保障檢測精度。例如，PerkinElmer N0777720 PFA微流量霧化器在地下水砷元素痕量檢測中，檢出限低至0.1 ppb；半導(dǎo)體廠商在晶圓清洗工藝中輸送超純氫氟酸時(shí)，可連續(xù)運(yùn)行>2000小時(shí)無腐蝕。
 

　　微流量設(shè)計(jì)
 

　　樣品提取速率低至0.05–0.6 mL/min(如PerkinElmer型號(hào))或20-200 μL/min(如安捷倫自吸式PFA霧化器)，適合痕量分析，同時(shí)通過極小顆粒氣溶膠生成提升信號(hào)穩(wěn)定性(霧化效率>98%)。
 

　　模塊化與兼容性
 

　　集成EzyLok接頭、集成毛細(xì)管及可選自動(dòng)進(jìn)樣器探針，適配PerkinElmer全系ICP及第三方設(shè)備(如Thermo Scientific、Agilent、Nu instruments等)。例如，Savillex C-Flow霧化器提供50 μL/min和200 μL/min兩種流速版本，并支持泵壓進(jìn)樣或自吸進(jìn)樣。